2

外形尺寸

65 × 65 × 20 mm

3

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV 鋼：550 g；.NM 鈦合金，陶瓷：300 g

4

運動行程

30 mm（*長 100 mm 可選）

5

速度范圍

默認(rèn)：0.1 mm/s ~ 1 mm/s；.HV & .UHV 版本：推薦使用 0.3 mm/s

6

驅(qū)動力

30 N

7

保持力

40 N

8

水平方向使用*大負(fù)載

5 kg

9

豎直方向使用*大負(fù)載

3 kg

10

雙向重復(fù)定位精度

± 125 nm

11

全程俯仰 / 偏擺

0.3 mrad

12

*小步伐（開環(huán)）

2 nm

13

*小步伐（閉環(huán)）

5 nm

14

傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

15

位置傳感器分辨率

2 nm

16

線纜 & 接頭

默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)

17

控制器規(guī)格

MC–LuZhishen 系列

2

外形尺寸

105 × 105 × 30 mm

3

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV 鋼：2 kg；.NM 鈦合金，陶瓷：1.2 kg

4

運動行程

60 mm（*長 200 mm 可選）

5

速度范圍

默認(rèn)：0.1 mm/s ~ 1 mm/s；.HV & .UHV 版本：推薦使用 0.3 mm/s

6

驅(qū)動力

60 N

7

保持力

80 N

8

水平方向使用*大負(fù)載

10 kg

9

豎直方向使用*大負(fù)載

6 kg

10

雙向重復(fù)定位精度

± 125 nm

11

全程俯仰 / 偏擺

0.2 mrad

12

*小步伐（開環(huán)）

2 nm

13

*小步伐（閉環(huán)）

5 nm

14

傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

15

位置傳感器分辨率

2 nm

16

線纜 & 接頭

默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)

17

控制器規(guī)格

MC–LuZhishen 系列